半導体MIRAIプロジェクト

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半導体MIRAIプロジェクト

■我が国最大級の産学官連携研究施設

・クリーンルームの性能

温度: 23±1℃
湿度: 45±5%
FFU(ファンフィルターユニット) による垂直一方向流方式

・クリーンルームの化学汚染対策

4層構成の同一断面と気密区画、一部ケミカルフィルター

・クリーンルームの振動対策

地盤改良／マットスラブ／エクスパンションジョイント／一部PC(プレキャスト･コンクリート)床板

<平面図>

<断面図>

<詳細図>





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